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活塞真空泵维修的***维护方法

针对活塞真空泵维修使用过程中出现的一些问题，活塞真空泵维修***总结出了以下关于真空镀膜机真空泵的日常***以及维护方法。

1、开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和滑阀真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。

2、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在点运转，才能提高节能的效果。

3、真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35℃，上至温度不得超过80℃。

4、如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。

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手机行业的PVD活塞真空泵维修技术

PVD镀膜能够镀出的膜层的颜色种类—PVD镀膜目前能够做出的膜层的颜色有深金***，浅金***，咖啡色，古铜色，***，黑色，灰黑色，七彩色等。通过控制镀膜过程中的相关参数，可以控制镀出的颜色;镀膜结束后可以用相关的仪器对颜色进行测量，使颜色得以量化，以确定镀出的颜色是否满足要求。

PVD镀膜与传统化学电镀(水电镀)的异同PVD镀膜与传统的化学电镀的相同点是，两者都属于表面处理的范畴，都是通过一定的方式使一种材料覆盖在另一种材料的表面。两者的不同点是：PVD镀膜膜层与工件表面的结合力更大，膜层的硬度更高，耐磨性和耐腐蚀性更好，膜层的性能也更稳定;PVD镀膜不会产生***或有污染的物质。

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活塞真空泵维修在信息薄膜加工中的应用

早用于广播、通信和雷达的电子器件是真空电子管,主要是控制由阴极发射到真空中的自由电子,用于信号的振荡、调制、发射、检测、放大、存储和加工.电子管器件的制造,要求真空卫生和真空纯洁,微电子器件的产生是建立在高纯锗、硅材料的基础上的，在材料和器件加工过程中，要求保持比高纯还好的半导体纯和高度有序的晶体结构。

而微电子器件的下一代的纳米电子器件，要求所用材料和组装加工过程应该好于半导体纯，更少的杂质和缺陷，更完善的晶体结构，所以在研究纳米电子器件时，将更多地采用高真空，甚至超高真空进行材料制备和器件组装。

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近些年北京大学和科学院北京真空物理实验室***研究有机复合薄膜的超高密度信息存储器件，其制备的关键技术是纳米厚度的高质量功能薄膜。当今的薄膜形成过程中能够保持真空纯洁环境，故可以得到高质量的薄膜。物***相沉积（PVD）技术主要有蒸发、溅射镀、离子镀、分束外延和离子团束镀等。

在分析了真空方法制备有机功能薄膜的几种技术后，经比较认为，离子团束（ICB）沉积技术用于制备有机功能薄膜是适用的。它是将材料蒸发经过绝热膨胀过程，电离过程形成荷电原子团，经历加速被沉积到基底上。原子在基底表面具有较大的迁移率，这有利于薄膜的成核和晶粒生长，形成高质量的薄膜，通过控制绝热过程，电离电压，加速电压和基底温度可以制成晶体、多晶或无定形薄膜。

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